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众所周知,光刻机被称为半导体产业“皇冠上的明珠”!
光刻机的工作原理也很简单,那就是通过一系列光源能量、形态束缚、将光束投射到刻画过电路板的掩膜上,
再经过光学补偿,将电路板成比例缩小投影到硅晶片上,最后以化学方法显影,得到刻画有电路图的硅晶。
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