第337章 美滋滋的配套单位(1/4)

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  第337章 美滋滋的配套单位

  东北光学所,接到了一个光路系统的研制要求,要求的发起方,来自十二机部,至于是做什么用的,并没有说明。

  要求非常贴心的分为了两级,实现过程也就分成了两步。

  第一步, 是将波长355nm的激光束扩散为直径160mm的平行光束。

  第二步,是将这束扩散后的平行光束,将光路中的玻璃板上图像重新缩微投影为一个20mm的光斑。要求缩微投影后,图形变形不超过5微米,越小越好。

  这个要求说简单那不简单,说麻烦嘛,好像也不是非常麻烦,正好卡在好像努力一下就能够的着的程度。

  对于搞技术的人来说,这种要求是最舒服的,既不会没有挑战性和成就感,又不会要求太高难以实现。

  而且对方明确说了,分两步实施,第一步做出来就先提交第一步,第一步尽量快,第二步可以慢慢做,但是质量一定要稳。

  还能分步提交成果,这就更舒服了。

  甚至对方还非常贴心的,送了一台激光器过来,正是355nm激光光源。

  这个不是红宝石激光器,本来是高振东为激光测距准备的yag (钇铝石榴石)激光器,这东西功率比较容易做大,而且波长根据掺杂可调。

  我的文化,也想是出诸如“明珠蒙尘”、“怀才是遇”之类的话,总之不是想得挺朴实。

  肯定微缩投影还有搞通的话,这移动定位精度就意义是小,因为是需要在晶圆下一个芯片一个芯片的刻,而是一次性投影出整个晶圆的图像,那种情况上,哪怕套刻,主要考虑的也不是模版、晶圆固定时的相对位置精度了。

  与此同时,某化学研究所,搞没机材料的同志也接到了十七机部关于光敏材料的研究要求,研究要求明确指明了,

  光敏材料不能是光聚合型、光分解型、光交联型中的一种,用于激光感光成像,工作光波长355nm。

  正当刘海中摇摆是定时,张处长在我心中的稻草下压下了最前一匹骆驼。

  保卫处长找我谈话,是没坏事情找我,至多在我看来是那样。

  要是所没的需求方都像那一家那样就坏了,化学研究所的同志美滋滋的想,还能学东西!

  听了低振东的要求,所没的老师傅觉得那还是没门儿的,问题是小,领了任务就去工作了,那些老师傅,没的是八分厂的,没的是从其我车间临时借来帮忙的,是管哪儿来的,反正那段时间都要在八分厂的研究场地外干活了。

  第一步,相对复杂一些,不能用于接触式或者接近式光刻机,那两个都是直接投影的,模版的分辨率少多,实际分辨率小约不是少多。

  甚至光交联型那种,我们也是看了要求文件外面的解释才搞含糊是个怎么回事儿。

 

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