【我的超级黑科技帝国】小说免费阅读，请收藏 全本免费小说【qbmfxs.com】
顶尖的光刻机，还需要体积小，但是功率非常高而且要稳定的光源。
以ASML的顶尖光刻机来说，其使用波长短的极紫外光，光学系统可以说是极复杂。
有顶级的镜头和光源，没极致的机械精度，也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。
两者需始终同步，误差在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。
SMEE最好的光刻机，包含13个分系统，3万个机械...
本章已完结
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顶尖的光刻机，还需要体积小，但是功率非常高而且要稳定的光源。
以ASML的顶尖光刻机来说，其使用波长短的极紫外光，光学系统可以说是极复杂。
有顶级的镜头和光源，没极致的机械精度，也是白搭。光刻机里有两个同步运动的工件台，一个载底片，一个载胶片。
两者需始终同步，误差在2纳米以下。两个工作台由静到动，加速度跟导弹发射差不多。
SMEE最好的光刻机，包含13个分系统，3万个机械...
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