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而此前全球的光刻机都只有一个工件台，而阿斯麦尔创新出了双工件台。
在一个工件台进行12英寸晶圆曝光的同时，另外一个工件台进行曝光之前的预对准工作，生产效率可惊人地提高大约35%。
天工研发...
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